所检缺陷种类：孔洞、尺寸、位置；穿孔；颗粒污染；凹坑；水印；划伤；浅坑；CMP凸起 检测范围：8寸、12寸 图像分辨率：1.725um/像素 缺陷识别率：99% 检测视野大小：4.5mm x 3.5mm 最小可检孔洞缺陷大小：20um

检测速度： 80-200m/min 产品范围： 隔膜 分辨率： 线扫：0.05（横向）*0.05（纵向）mm/pix； 检测精度： 0.05mm² 过杀率/漏杀率： 漏杀率：0%，过杀率：≤0.1% 设备外形尺寸： 嵌入原设备中（定制）

针对薄膜行业能检测出不同类型的表面缺陷，并实时以图像形式反馈出来。

应用简介说明：激光模切分切一体机尺寸及缺陷CCD检测系统，采用CCD对极片表面进行实时拍照，实现检测极片宽度并进行实时闭环纠偏，同时兼容极片表面瑕疵检测，对不良片进行报警和贴标，实现对产品的自动化检测。

CCD在线检测系统，检测连续涂布极片表面瑕疵检测、极片宽度检测、宽度闭环纠偏、并对不良统一进行报警停机、数据统计和不良贴标等。

涂布对齐及缺陷CCD检测系统，采用CCD对极片表面进行实时拍照，实现检测极片宽度并进行实时闭环纠偏，同时兼容极片表面瑕疵检测并进行喷墨和报警 。